发明公开
- 专利标题： 闪存堆叠系统和方法
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申请号： CN201980036081.1申请日： 2019-05-02
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公开(公告)号： CN112204737A公开(公告)日： 2021-01-08
- 发明人: B·哈巴 , L·默罕默德 , J·A·德拉克鲁斯
- 申请人： 伊文萨思公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 伊文萨思公司
- 当前专利权人： 伊文萨思公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 杨飞
- 优先权： 15/993,271 2018.05.30 US
- 国际申请： PCT/US2019/030423 2019.05.02
- 国际公布： WO2019/231607 EN 2019.12.05
- 进入国家日期： 2020-11-27
- 主分类号： H01L25/065
- IPC分类号： H01L25/065 ; H01L21/78 ; H01L23/00 ; H01L25/00
摘要：
以晶圆对晶圆方式执行的三维堆叠技术减少了生产时的机器运动。晶圆使用金属迹线进行处理，并且在切成单独管芯堆叠之前进行堆叠。堆叠的每个层的迹线经由无电解镀而互连。
公开/授权文献
- CN112204737B 闪存堆叠系统和方法 公开/授权日：2022-07-01
IPC分类:
