- 专利标题: 一种微米级局域电化学沉积装置及其工作方法
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申请号: CN202011142943.X申请日: 2020-10-23
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公开(公告)号: CN112251779B公开(公告)日: 2023-05-12
- 发明人: 许金凯 , 孙晓晴 , 任万飞 , 于化东 , 田坤
- 申请人: 长春理工大学
- 申请人地址: 吉林省长春市卫星路7089号
- 专利权人: 长春理工大学
- 当前专利权人: 长春理工大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市卫星路7089号
- 代理机构: 长春市吉利专利事务所
- 代理商 李晓莉
- 主分类号: C25D1/00
- IPC分类号: C25D1/00 ; B33Y10/00 ; B33Y30/00
摘要:
本发明一种微米级局域电化学沉积装置及其工作方法,属于电化学沉积技术领域;包括气浮平台,气浮平台上设置有位置移动组件,位置移动组件包括与气浮平台连接的X向运动单元,X向运动单元上连接有直角换向块,直角换向块的竖直端面固定Z向运动单元,Z向运动单元上设置有Y向运动单元;Z向运动单元远离Y向运动单元的一侧设置有电化学反应系统,电化学反应系统的上方设置有打印系统,下方设置有微阳极系统;电化学反应系统的一侧设置有电解质溶液供给系统;气浮平台上还设置有中央控制单元,中央控制单元内部设置有加工程序,以控制加工时间和加工顺序。本发明解决了许多复杂结构零件的成形,并大大减少了加工工序,缩短了加工周期。
公开/授权文献
- CN112251779A 一种微米级局域电化学沉积装置及其工作方法 公开/授权日:2021-01-22