一种微米级局域电化学沉积装置及其工作方法
摘要:
本发明一种微米级局域电化学沉积装置及其工作方法,属于电化学沉积技术领域;包括气浮平台,气浮平台上设置有位置移动组件,位置移动组件包括与气浮平台连接的X向运动单元,X向运动单元上连接有直角换向块,直角换向块的竖直端面固定Z向运动单元,Z向运动单元上设置有Y向运动单元;Z向运动单元远离Y向运动单元的一侧设置有电化学反应系统,电化学反应系统的上方设置有打印系统,下方设置有微阳极系统;电化学反应系统的一侧设置有电解质溶液供给系统;气浮平台上还设置有中央控制单元,中央控制单元内部设置有加工程序,以控制加工时间和加工顺序。本发明解决了许多复杂结构零件的成形,并大大减少了加工工序,缩短了加工周期。
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