光测距装置以及加工装置
摘要:
将光测距装置(3)构成为:设置有具有接收从光干涉部(31)输出的干涉光并输出干涉光的检测信号的PD(32-1)~(32-N)的光检测器(32)、以及从自PD(32-1)~(32-N)输出的检测信号之中选择任意一个检测信号的开关(33),距离计算部(35)根据由开关(33)选择出的检测信号,计算直至测定对象物(1)为止的距离。
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