发明公开
- 专利标题: 用于光学部件的利用旋涂高折射率材料的压印结构的间隙填充
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申请号: CN201980039167.X申请日: 2019-05-23
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公开(公告)号: CN112262344A公开(公告)日: 2021-01-22
- 发明人: 傅晋欣 , 卢多维克·戈代 , 韦恩·麦克米兰
- 申请人: 应用材料公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人: 应用材料公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权: 62/692,247 2018.06.29 US
- 国际申请: PCT/US2019/033711 2019.05.23
- 国际公布: WO2020/005427 EN 2020.01.02
- 进入国家日期: 2020-12-09
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00 ; G02B5/18 ; G02B27/42 ; B29D11/00
摘要:
本公开内容的实施方式一般涉及用于形成光学部件的方法,光学部件例如用于虚拟现实或扩增实境显示设备。在一个实施方式中,方法包含在基板上形成第一层的步骤,第一层具有第一折射率。方法进一步包含以下步骤:将具有图案的印模按压至第一层上,及将印模的图案转印至第一层以形成图案化的第一层。方法进一步包含通过旋涂在图案化的第一层上形成第二层的步骤,第二层具有大于第一折射率的第二折射率。通过旋涂形成具有高折射率的第二层,导致第二层中改善的纳米颗粒均匀性。