用于光学部件的利用旋涂高折射率材料的压印结构的间隙填充
摘要:
本公开内容的实施方式一般涉及用于形成光学部件的方法,光学部件例如用于虚拟现实或扩增实境显示设备。在一个实施方式中,方法包含在基板上形成第一层的步骤,第一层具有第一折射率。方法进一步包含以下步骤:将具有图案的印模按压至第一层上,及将印模的图案转印至第一层以形成图案化的第一层。方法进一步包含通过旋涂在图案化的第一层上形成第二层的步骤,第二层具有大于第一折射率的第二折射率。通过旋涂形成具有高折射率的第二层,导致第二层中改善的纳米颗粒均匀性。
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