本发明公开了一种湿法磷酸真空脱氟的方法，涉及湿法磷酸脱氟技术领域。所述真空脱氟方法将原料磷酸进行脱除重金属处理，然后澄清、压滤脱出磷酸中的固体杂质，得到低含固量的澄清浓磷酸；将脱氟剂与澄清浓磷酸一起，利用进酸泵经过磷酸加热器加热后进入低压真空脱氟槽，所述低压真空脱氟槽至少包含三级脱氟槽，浓磷酸依次在低压真空脱氟槽中进行多级强制循环真空脱氟，含氟气体通过水洗回收，过程中浓磷酸温度控制随脱氟槽级数递增。上述方法脱氟效率高，生产的脱氟磷酸品质好，杂质含量低，可以直接用于饲料级磷酸氢钙的制备。