发明公开
- 专利标题: 一种四叶草形天线的石墨烯光电探测器及制备方法
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申请号: CN202011292424.1申请日: 2020-11-18
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公开(公告)号: CN112331736A公开(公告)日: 2021-02-05
- 发明人: 王林 , 侯时聪 , 郭万龙 , 陈效双 , 陆卫
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构: 上海沪慧律师事务所
- 代理商 郭英
- 主分类号: H01L31/101
- IPC分类号: H01L31/101 ; H01L31/0352 ; H01L31/028 ; H01L31/18
摘要:
本发明公开了一种四叶草形天线的石墨烯光电探测器及制备方法。器件制备步骤是将化学气相沉积生长的石墨烯转移到有SiO2氧化层的Si衬底上,利用紫外光刻技术制作源、漏和顶栅电极,并利用氧刻、原子层沉积、湿法腐蚀等工艺,制备成具有四叶草形天线的石墨烯光电探测器。利用独特的四叶草形天线结构,增强光的吸收并产生非对称的耦合电场,从而显著增强了探测器的源漏定向电流,大幅提高了器件的信噪比和探测能力。四叶草形结构的石墨烯光电探测器在太赫兹及微波频段段均显示了超高的探测率。本发明的优点是探测率高,响应快,功耗低和便于集成化。