快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法
摘要:
本发明属于精密光学测量仪器系统参数校准领域,并具体公开了一种快照式穆勒矩阵椭偏仪相位延迟量误差的通用校准方法,其包括如下步骤:S1、按预设相位延迟器厚度比搭建快照式穆勒矩阵椭偏仪,然后对三组标准样品进行测量,得到三组测量光谱;S2、分别对三组测量光谱进行频域分析得到频域信号,对频域信号进行分通道处理得到多阶频率通道,再根据相位延迟器厚度比对频率通道进行选择;S3、对选择的频率通道进行波数域分析计算,获得各频率通道对应的测量光谱三角函数展开式的实频、虚频系数,进而得到各相位延迟器的相位延迟量误差。本发明能准确校准快照式穆勒矩阵椭偏仪全测量光谱内的相位延迟量误差,适用于不同的相位延迟器厚度比。
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