发明授权
- 专利标题： 柔性吸附装置及光刻设备
-
申请号： CN201910785428.4申请日： 2019-08-23
-
公开(公告)号： CN112415856B公开(公告)日： 2022-04-22
- 发明人: 钱林峰 , 郑清泉 , 刘屈武 , 丛国栋
- 申请人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区张东路1525号
- 专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人： 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区张东路1525号
- 代理机构： 上海思捷知识产权代理有限公司
- 代理商 王宏婧
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明提供了一种柔性吸附装置及光刻设备，包括移动模块及设置于移动模块相对的两端的两个柔性支撑件，所述柔性支撑件内设置有一真空吸附腔，以实现对被吸附件的真空吸附，所述柔性支撑件的刚度小于所述被吸附件的刚度，以使吸附所述被吸附件时，形变发生在所述柔性支撑件上，使得所述被吸附件的形变量和扭曲度更小，并且，所述柔性支撑件与所述移动模块之间具有一阻尼气膜，能够抑制所述被吸附件的垂向高频振动，且振动越强，抑制效果越好。
公开/授权文献
- CN112415856A 柔性吸附装置及光刻设备 公开/授权日：2021-02-26
IPC分类:
