本发明涉及一种有机硅粗单体与氯甲烷分离的节能、精制的装置及方法。液相、气相原料分别进入分离塔，分离塔塔釜采出粗单体，塔顶采出气相物料一分为二，一部分物料经过压缩机加压后进入汽提塔，一部分物料进入分离塔冷凝器，作为分离塔回流液回到塔顶；分离塔塔釜再沸器采用蒸汽加热。汽提塔塔顶经过水冷器，深冷器两级冷凝后液相全回流，少量不凝气采出，塔釜采出液相氯甲烷产品。根据热泵精馏技术，在分离塔塔顶设置压缩机，提高分离塔塔顶气相物料压力，并作为汽提塔的气相进料及氯甲烷精制塔再沸器的热源；与常见工业化装置相比，可有效降低蒸汽消耗，同时提高氯甲烷产品品质，此外对设备、自控的要求基本一致，具备可操作性和工业化可行性。