发明公开
CN112513575A 多级高度图
审中-实审
- 专利标题: 多级高度图
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申请号: CN201880094035.2申请日: 2018-05-28
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公开(公告)号: CN112513575A公开(公告)日: 2021-03-16
- 发明人: 劳里·阿尔内·约翰内斯·维罗拉 , 帕维尔·伊万诺夫 , 亨利·亚科·尤利乌斯·努尔米宁
- 申请人: 赫尔环球有限公司
- 申请人地址: 荷兰艾恩德霍芬
- 专利权人: 赫尔环球有限公司
- 当前专利权人: 赫尔环球有限公司
- 当前专利权人地址: 荷兰艾恩德霍芬
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 张娜; 张帆
- 国际申请: PCT/EP2018/063936 2018.05.28
- 国际公布: WO2019/228605 EN 2019.12.05
- 进入国家日期: 2020-11-30
- 主分类号: G01C5/06
- IPC分类号: G01C5/06 ; G01C21/00 ; G01C21/20 ; G01C21/32
摘要:
本发明涉及一种由至少一个设备执行的方法。所述方法包括:获得至少部分地包括高度信息并且在至少部分地由高度图表示的区域中观察到的样本测量,所述高度图包括表示所述区域的相应子区域的子部分;所述方法还包括:根据所述高度信息,来确定高度估计。所述方法还包括:基于确定的高度估计,来更新与所述高度图的相应子部分相关联的一个或多个高度估计分布。所述方法还包括:针对所述高度图的一个或多个子部分,基于与所述高度图的相应子部分相关联的相应高度估计分布,确定所述高度图的相应子部分表示单级子区域还是多级子区域。
公开/授权文献
- CN112513575B 多级高度图 公开/授权日:2024-03-19