发明公开
- 专利标题: MEMS电容式加速度计信号读出电路
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申请号: CN201910885020.4申请日: 2019-09-18
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公开(公告)号: CN112526169A公开(公告)日: 2021-03-19
- 发明人: 段王楠 , 张兴成 , 孟真 , 刘谋 , 田易 , 钟燕清 , 李继秀 , 阎跃鹏
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 北京兰亭信通知识产权代理有限公司
- 代理商 孙峰芳
- 主分类号: G01P15/125
- IPC分类号: G01P15/125 ; G01P1/12 ; H03H11/46
摘要:
本发明提供一种MEMS电容式加速度计信号读出电路,包括:差分调制单元,所述差分调制单元与MEMS电容式加速度计表头连接,用于将所述MEMS电容式加速度计表头检测到的低频加速度信号转化为高频电压信号,其中所述低频加速度信号由表头的电容变化量来体现;解调单元,用于将所述差分调制单元输出的高频电压信号解调为低频电压信号;滤波单元,用于滤除所述解调单元输出的低频电压信号中的低频噪声;放大电路单元,用于对所述滤波单元的输出信号进行放大。本发明的信号读出电路工作稳定,达到了降低噪声和提升检测性能的效果。
公开/授权文献
- CN112526169B MEMS电容式加速度计信号读出电路 公开/授权日:2022-10-28
IPC分类: