MEMS电容式加速度计信号读出电路
摘要:
本发明提供一种MEMS电容式加速度计信号读出电路,包括:差分调制单元,所述差分调制单元与MEMS电容式加速度计表头连接,用于将所述MEMS电容式加速度计表头检测到的低频加速度信号转化为高频电压信号,其中所述低频加速度信号由表头的电容变化量来体现;解调单元,用于将所述差分调制单元输出的高频电压信号解调为低频电压信号;滤波单元,用于滤除所述解调单元输出的低频电压信号中的低频噪声;放大电路单元,用于对所述滤波单元的输出信号进行放大。本发明的信号读出电路工作稳定,达到了降低噪声和提升检测性能的效果。
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