一种高干燥效率的碱金属气室及其干燥方法
摘要:
本发明所述的一种高干燥效率的碱金属气室及其干燥方法,通过设置与气室主体错位相切的进气尾管和出气尾管,使得用于干燥的氮气等惰性气体在重力和切向力的作用下,沿着气室主体内壁形成旋风状气流,对气室内壁表面的残留清洗液进行高效率干燥。该高干燥效率的碱金属气室可以保证碱金属气室的洁净度,不受干燥操作环境洁净度的影响,缩短气室干燥时间,在提高碱金属气室内抗弛豫涂层的质量方面具有重大的意义。
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