发明授权
摘要:
本发明涉及一种温度稳定的高灵敏度微型电场传感器,所述电场传感器自下而上依次设有衬底、缓冲层和一维光子晶体;所述一维光子晶体由脊波导和在所述脊波导一个维度上呈周期性排列的微纳结构组成,所述脊波导为TiO2‑LN‑TiO2三层结构;在一维光子晶体的两侧分别设有天线和电极,所述天线和电极相连,其中所述天线用于感应外界的电场,所述电极将天线感应到的电场加载到一维光子晶体上。本发明所提供的电场传感器体积小、灵敏度高、动态范围大,且避免了温度变化对传感器测量准确性的影响。
公开/授权文献
- CN112557771A 一种温度稳定的高灵敏度微型电场传感器 公开/授权日:2021-03-26