发明授权
- 专利标题: 一种低温存储器件的制备和调控方法
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申请号: CN202011517515.0申请日: 2020-12-21
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公开(公告)号: CN112635490B公开(公告)日: 2023-09-29
- 发明人: 陈立明 , 周健 , 丁健翔 , 张骁 , 孙正明 , 徐东
- 申请人: 安徽工业大学
- 申请人地址: 安徽省马鞍山市湖东路59号
- 专利权人: 安徽工业大学
- 当前专利权人: 安徽工业大学
- 当前专利权人地址: 安徽省马鞍山市湖东路59号
- 代理机构: 安徽顺超知识产权代理事务所
- 代理商 徐文恭
- 主分类号: H10B51/30
- IPC分类号: H10B51/30 ; H01L29/47 ; H01L29/51 ; H01L29/78 ; H01L21/336
摘要:
本发明公开了电子科学技术领域的一种低温存储器件,具有低温高电流开关特性且可实现外场电控,以铁电材料BaTiO3作为隧穿层,分别以铁磁金属氧化物La0.7Sr0.3MnO3、n型掺杂Nb:SrTiO3和Au作为低温存储器件的上电极、底电极和顶电极;本发明通过代替传统贵金属电极设计的铁磁金属氧化物电极/铁电层/半导体电极型铁电隧道结存储器件,在35K的低温下可以实现电流开关比(电流开关比ON/OFF,开态隧穿电流值与关态隧穿电流值之比)达到~105,此外,本发明制备工艺简易,操作简便,成本低廉,可在低温下保持较好的信息存储及转换的性能,本发明中的低温存储器件通过电场调控及温度调控克服传统铁电隧道结在低温下性能缺陷,拓宽了La0.7Sr0.3MnO3/BaTiO3/Nb:SrTiO3铁电隧道结存储器使用范围和使用性能。
公开/授权文献
- CN112635490A 一种低温存储器件的制备和调控方法 公开/授权日:2021-04-09