分流器(2)具备第一分流器主体(2a)及第二分流器主体(2b)。第一分流器主体(2a)具有与第一气体流路(43)连通的气体供给室(20a)，第二分流器主体(2b)具有与第二气体流路(44)连通的气体回收室(20b)。第一分流器主体(2a)具有：第一顶板(21a)、第一底板(22a)以及第一侧板(23a)。第一顶板(21a)包含用于使第一气体流路(43)和气体供给室(20a)连通的第一贯通孔(211a)。第二分流器主体(2b)具有：第二顶板(21b)、第二底板(22b)以及第二侧板(23b)。第二顶板(21b)包含用于使第二气体流路(44)和气体回收室(20b)连通的第二贯通孔(211b)。第一底板(22a)和第二底板(22b)彼此由不同的部件构成。