- 专利标题: 可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法
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申请号: CN202011385096.X申请日: 2020-11-30
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公开(公告)号: CN112648989B公开(公告)日: 2022-09-23
- 发明人: 张红波 , 曲天良 , 王鹏
- 申请人: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区雄楚大街981号
- 专利权人: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
- 当前专利权人: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区雄楚大街981号
- 代理机构: 武汉蓝宝石专利代理事务所
- 代理商 高兰
- 主分类号: G01C19/56
- IPC分类号: G01C19/56
摘要:
本发明涉及一种可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法,装置包括:石英谐振子、电极基座、精密装调单元、加热温控单元及真空单元。石英谐振子及电极基座固定在精密装调单元内,石英谐振子位于电极基座下方;电极基座的球状部分朝下;电极基座中心开设有上下贯穿的中心孔,石英谐振子的支柱插入在中心孔内,中心孔的上端或下端放置有封接焊料;加热温控单元设置在精密装调单元内,石英谐振子、电极基座及封接焊料被包裹在加热温控单元内侧;精密装调单元设置在真空单元内侧。本发明提供的可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法,可利用同一工艺设备在同一工序同时完成谐振子的真空退火和真空封接,减小了工艺设备成本和人力成本。
公开/授权文献
- CN112648989A 可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法 公开/授权日:2021-04-13