可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法
摘要:
本发明涉及一种可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法,装置包括:石英谐振子、电极基座、精密装调单元、加热温控单元及真空单元。石英谐振子及电极基座固定在精密装调单元内,石英谐振子位于电极基座下方;电极基座的球状部分朝下;电极基座中心开设有上下贯穿的中心孔,石英谐振子的支柱插入在中心孔内,中心孔的上端或下端放置有封接焊料;加热温控单元设置在精密装调单元内,石英谐振子、电极基座及封接焊料被包裹在加热温控单元内侧;精密装调单元设置在真空单元内侧。本发明提供的可同时用于谐振子退火和真空对接的装置及方法,可利用同一工艺设备在同一工序同时完成谐振子的真空退火和真空封接,减小了工艺设备成本和人力成本。
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