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公开(公告)号：CN114310640A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111417233.8
申请日：2021-11-26
摘要： 本发明涉及一种半球谐振子抛光方法，其包括如下步骤：S1、提供抛光模，所述抛光模具有与谐振子的球形表面相匹配的球形抛光面；S2、配置抛光模和待抛光的谐振子，使所述谐振子的球面和所述球形抛光面同心设置，所述球形抛光面和所述谐振子的球形表面相贴合；S3、向球形抛光面和半球谐振子的贴合处提供抛光液；S4、驱使半球谐振子自转进行抛光，其采用具有球形抛光面的抛光模对谐振子进行抛光，其抛光时间短，抛光效果显著，成功解决了谐振子内球面和外球面抛光效率低和面形精度低的工程化抛光技术难题，实现了谐振子球面的抛光。
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公开(公告)号：CN114396927A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111455054.3
申请日：2021-11-30
IPC分类号： G01C19/5691
摘要： 本发明提供一种基于SOC的半球谐振陀螺时分复用控制方法及系统，该方法包括：通过检测/激励时序切换控制多路复用开关将陀螺X、Y电极工作在检测或激励状态；当X、Y电极工作在检测状态时，FPGA进行AD信号采集、同步采样、信号解算、锁相环频率跟踪，ARM中进行陀螺信号解算、陀螺PID控制、工作模式切换；当X、Y电极工作在激励状态时，通过力合成和DAC控制实现对陀螺正交、幅度、角度闭环控制。从而可以实现半球谐振时分复用控制下陀螺信号解算和陀螺闭环控制，保障信号检测和激励同步有序进行。
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公开(公告)号：CN112710869A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011454938.2
申请日：2020-12-09
IPC分类号： G01P15/097
摘要： 本发明提供了一种基于附加静电刚度原理的谐振子刚性轴辨识装置及方法，能够准确辨识出谐振子刚性轴的位置，以保证谐振子的调平效果，装置包括回转台、电极座、梳状电极、电极座支撑机构、信号源及控制器，所述电极座为环形结构，设于回转台上方，谐振子支撑杆能够穿过电极座，与回转台的回转轴连接，使得谐振子唇沿能够位于梳状电极上方，所述梳状电极包括梳状直流激励电极、梳状交流激励电极和梳状检测电极，在电极座上端面沿圆周方向分布，且均位于谐振子唇沿下方，所述电极座支撑机构设于回转台一侧，用于对电极座进行支撑，所述信号源与梳状直流激励电极连接，控制器与梳状交流激励电极连接。
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公开(公告)号：CN112379125B
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202011197671.3
申请日：2020-10-31
IPC分类号： G01P15/097 , B81B7/00 , B81C1/00
摘要： 一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法，涉及到微机电系统中的微惯性传感技术领域，包括中空的外壳座、密封设在所述外壳座顶部的上盖组、密封设在所述外壳座底部的底盖和设置在所述外壳座内部的传感模组；将传感模组设置成由两个分别加工的传感头部件对称分布与内壳体密封连接，实现石英振梁加速度计的差分工作模式；相比于现有的一体加工成型的传感头部件，不仅降低了加工的难度，还更加有利于大批量的生产；传感模组的真空工作环境不仅可以有效隔离外界热应力的影响，降低热弹性损耗；还可以减小空气阻尼和电极溅射，提高传感芯片的品质因子，提高了石英振梁加速度计的精度。
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公开(公告)号：CN114397479A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202111486926.2
申请日：2021-12-07
摘要： 一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：真空腔，提供真空环境，并在真空腔内容置TO部件，TO部件通过TO部件固定工装安装在真空腔内；电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与真空腔连接；多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且多齿分度台之工作面处设置用于安装电动转台的电动转台安装支架；水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对TO部件安装板进行水平度调整。本发明利用多齿分度台和电动转台提供的两自由度转动，使得TO部件不仅能够一次性完成XYZ三轴标度因数的测量，排除多次安装产生的误差，而且利用真空腔提供了TO部件之谐振梁芯片正常工作所需的真空环境，保证了测试结果真实可靠。
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公开(公告)号：CN112362907A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011198960.5
申请日：2020-10-31
IPC分类号： G01P15/097
摘要： 一种振梁加速度计芯片结构，涉及一种谐振式振梁加速度计仪表，所述芯片结构包括挠性结构、设置在挠性结构上下端面的质量结构和设置在所述质量结构端面上的振梁结构；所述挠性结构与所述质量结构的接触面之间、所述质量结构与所述振梁结构的接触面之间均设置有键合层，所述键合层包括依次设置的种子层、过渡层、活性反应层和焊料层；本发明通过在挠性结构、质量结构和振梁结构相接触的位置设置键合层，以实现自蔓延反应键合；相比现有分体式，装配简单，同时避免了石英材料和金属质量块不同材料间的热失配和胶老化问题；同时本方案通过多层基片键合，避免了一体式石英振梁加速度计的加工困难，以及挠性结构和振梁湿法刻蚀表面的质量控制难题。
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公开(公告)号：CN114397479B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202111486926.2
申请日：2021-12-07
摘要： 一种石英振梁加速度计TO部件的两自由度测试装置，包括：真空腔，提供真空环境，并在真空腔内容置TO部件，TO部件通过TO部件固定工装安装在真空腔内；电动转台，安装在电动转台安装支架上，并通过真空腔转接板与真空腔连接；多齿分度台，设置在多齿分度台安装板上，且多齿分度台之工作面处设置用于安装电动转台的电动转台安装支架；水平调节机构，具有水平调节机构限位板，并用于对TO部件安装板进行水平度调整。本发明利用多齿分度台和电动转台提供的两自由度转动，使得TO部件不仅能够一次性完成XYZ三轴标度因数的测量，排除多次安装产生的误差，而且利用真空腔提供了TO部件之谐振梁芯片正常工作所需的真空环境，保证了测试结果真实可靠。
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公开(公告)号：CN112815964B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202011600028.0
申请日：2020-12-29
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明涉及一种基于平面叉指电极的谐振子振动特性检测装置及方法，包括转台、电极基座、信号发生单元、信号检测单元，转台水平设置，电极基座通过安装架固定设置在转台的上方，电极基座为圆环状，电极基座的上表面设有平面叉指激励电极与平面叉指检测电极，信号发生单元与平面叉指激励电极电性连接，信号检测单元与平面叉指检测电极电性连接；转台上固定设置有谐振子固定夹具，谐振子固定夹具用于夹持谐振子的支撑杆，电极基座的上表面与谐振子的唇沿相配合。通过该装置及方法可以测量半球谐振子的品质因素及频率裂解等振动特性。该检测装置及检测方法适用性强，装置结构简单，检测操作简便，极大地优化了谐振子振动特性的检测。
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公开(公告)号：CN114166242B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202111280905.5
申请日：2021-10-29
IPC分类号： G01C25/00
摘要： 本发明涉及一种半球谐振陀螺检测信号不均匀性的校准方法及系统，设置半球谐振陀螺相差45°的两个方向的振动信号的补偿参数；使半球谐振陀螺振型的进动角θ匀速改变，分别检测得到振型的进动角θ顺时针和逆时针转动时，振型的进动角的角速度随振型的进动角θ的变化关系f1(θ)和f2(θ)，计算f1(θ)和f2(θ)的差为误差项Err，拟合得到误差项Err关于振型的进动角θ的拟合函数，确定拟合函数中的拟合参数；基于各个补偿参数对两个方向的振动信号进行补偿校准，得到拟合参数随补偿系数变化的关系，根据拟合参数的值得到最佳的补偿参数，使用该最佳的补偿参数对两个方向的振动信号进行补偿校准。使用最佳补偿系数，可以将标度因数随角度的不均匀分布抑制到最低。
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公开(公告)号：CN114562989A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202111498595.4
申请日：2021-12-09
IPC分类号： G01C19/5691 , G01C19/5783
摘要： 本发明涉及一种基于光胶连接方式的半球谐振陀螺，包括外罩、光胶固定组件、谐振子、吸气剂和真空连通器；外罩的一端开口且内部具有空腔；光胶固定组件包括光胶基板、支撑环和电极座，光胶基板安装于空腔底部，电极座设置于空腔靠近外罩开口的一端，支撑环安装于光胶基板和电极座之间，支撑环的两端分别与光胶基板和电极座光胶连接；谐振子包括半球形部和支撑杆，支撑杆靠近半球形部的开口的一端安装于电极座上，另一端与光胶基板光胶连接；吸气剂安装于支撑杆背离半球形部开口的一端；真空连通器安装于电极座远离光胶基板的一侧；其采用光胶方式进行连接便于严格控制尺寸公差，保证装调后满足工艺要求。
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