本发明公开了一种立式光伏电池钝化沉积装置，具有一个竖向设置的主机室，主机室内至少具有一个竖向设置的工艺腔室，工艺腔室顶端通过上法兰密封组与腔室上盖紧密连接，底端与外部的气体处理装置连通，在工艺腔室内配套使用多个石墨盘，每个石墨盘上承载若干个硅片后逐层叠放在工艺腔室内。本发明具有一个竖向设置的主机室，主机室内至少具有一个竖向设置的工艺腔室，通过立式的工艺腔室实现光伏电池钝化工艺。该装置占地面积小，布局更加合理，集约程度高，提高生产效率，降低生产成本。