发明授权
CN1126972C 制造光学非线性薄膜波导的方法和光学非线性薄膜波导
失效 - 权利终止
- 专利标题： 制造光学非线性薄膜波导的方法和光学非线性薄膜波导
- 专利标题（英）： Method of fabricating optical non-linear thin film waveguide and optical nonlinear thin film waveguide
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申请号： CN99803849.0申请日： 1999-02-23
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公开(公告)号： CN1126972C公开(公告)日： 2003-11-05
- 发明人: 藤原巧 , 生嶋明 , 米田修
- 申请人： 丰田自动车株式会社 , 学校法人丰田学园
- 申请人地址： 日本爱知县
- 专利权人： 丰田自动车株式会社,学校法人丰田学园
- 当前专利权人： 丰田自动车株式会社,学校法人丰田学园
- 当前专利权人地址： 日本爱知县
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 陈霁; 张志醒
- 优先权： 61609/1998 1998.03.12 JP
- 国际申请： PCT/JP1999/00788 1999.02.23
- 国际公布： WO1999/46632 JA 1999.09.16
- 进入国家日期： 2000-09-11
- 主分类号： G02F1/01
- IPC分类号： G02F1/01 ; G02F1/35
摘要：
掺Ge的SiO2薄膜12形成在玻璃基质(10)上，金属膜(14)形成在上面(S11至S13)。通过蚀刻金属膜(14)，形成彼此相距预定间隔的一对电极(14a，14b)(S14)。薄绝缘膜(16)形成在薄膜(12)及电极(14a，14b)上(S15)。施加紫外辐射的同时，在电极(14a，14b)之间施加高压，以便完成UV激发变换，给予通道部分(18)以光学非线性(S16)。通过控制施加到光学非线性的通道部分(18)上的电压，控制透过通道部分(18)的光。这样，在玻璃基质上形成传播单模光的光学非线性波导。
公开/授权文献
- CN1292886A 制造光学非线性薄膜波导的方法和光学非线性薄膜波导 公开/授权日：2001-04-25