- 专利标题: 一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置
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申请号: CN201911021320.4申请日: 2019-10-25
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公开(公告)号: CN112708855B公开(公告)日: 2023-02-10
- 发明人: 樊俊飞 , 任三兵 , 李山青
- 申请人: 宝山钢铁股份有限公司
- 申请人地址: 上海市宝山区富锦路885号
- 专利权人: 宝山钢铁股份有限公司
- 当前专利权人: 宝山钢铁股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区富锦路885号
- 代理机构: 上海集信知识产权代理有限公司
- 代理商 洪玲
- 主分类号: C23C14/26
- IPC分类号: C23C14/26
摘要:
本发明公开了一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置,包括坩埚,其外侧设有感应加热器,所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体,所述布流箱体内设有一水平向的稳压板,所述布流箱体顶部连有镀膜喷嘴,所述蒸汽管道上设有调压阀;所述稳压板设置为多孔结构;所述布流箱体与所述蒸汽管道连接位置上设有导流柱,所述导流柱位于所述稳压板的下方,且所述导流柱径向截面面积S导流与所述蒸汽管道径向截面面积S入口之比大于等于0.1,即:S导流/S入口≥0.1。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时,在钢板表面形成均匀镀层。
公开/授权文献
- CN112708855A 一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置 公开/授权日:2021-04-27
IPC分类: