发明公开

粘合片
摘要:
提供一种粘合片,其可以在硬脆基板的背面磨削工序中用于硬脆基板的磨削,其低污染性、生产率、磨削精度及剥离性均优异。本发明的粘合片具备粘合剂层,该粘合剂层的厚度为1μm~300μm,该粘合剂层在25℃下的压痕硬度H(Pa)和粘合剂层的厚度hA(μm)满足下述式(1)的关系。logH≥1.9385×loghA+4.2611···(1)。
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