一种半导体级异丙醇的纯化方法
摘要:
本发明公开了一种半导体级异丙醇的纯化方法,通过将工业级的异丙醇原料经离子净化脱水处理后,经精细控制精馏温度,严格控制共沸点,剥离异丙醇原料中的水分。并经过萃取塔,进一步拦截馏分中的水分和离子体,同时提高异丙醇的浓度。另外,在最后的净化收集器入口还设有纳滤膜,进一步净化冷却后的异丙醇中微粒杂质,进一步提高异丙醇的纯度和质量。经本发明方法获得异丙醇主体含量达99.99%,水含量低于50ppm,阳离子含量低于0.1ppb,阴离子含量低于50ppb,符合国际半导体设备和材料组织制定的化学材料12级标准,可用于半导体、大规模集成电路装配和加工过程中的清洗、干燥等方面。
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