发明公开
- 专利标题: 一种半导体级异丙醇的纯化方法
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申请号: CN202011614988.2申请日: 2020-12-30
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公开(公告)号: CN112723994A公开(公告)日: 2021-04-30
- 发明人: 乔正收 , 王金城
- 申请人: 镇江润晶高纯化工科技股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省镇江市京口区镇江新区孩溪路8号
- 专利权人: 镇江润晶高纯化工科技股份有限公司
- 当前专利权人: 镇江润晶高纯化工科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省镇江市京口区镇江新区孩溪路8号
- 代理机构: 上海创开专利代理事务所
- 代理商 吴海燕
- 主分类号: C07C29/88
- IPC分类号: C07C29/88 ; C07C29/82 ; C07C29/86 ; C07C29/76 ; C07C31/10
摘要:
本发明公开了一种半导体级异丙醇的纯化方法,通过将工业级的异丙醇原料经离子净化脱水处理后,经精细控制精馏温度,严格控制共沸点,剥离异丙醇原料中的水分。并经过萃取塔,进一步拦截馏分中的水分和离子体,同时提高异丙醇的浓度。另外,在最后的净化收集器入口还设有纳滤膜,进一步净化冷却后的异丙醇中微粒杂质,进一步提高异丙醇的纯度和质量。经本发明方法获得异丙醇主体含量达99.99%,水含量低于50ppm,阳离子含量低于0.1ppb,阴离子含量低于50ppb,符合国际半导体设备和材料组织制定的化学材料12级标准,可用于半导体、大规模集成电路装配和加工过程中的清洗、干燥等方面。