石墨烯复合金属箔及其双面生长方法和装置
摘要:
本公开提供一种石墨烯复合金属箔及其双面生长方法和装置,该装置包括化学气相沉积炉、放卷轴和收卷轴,其中化学气相沉积炉包括依次连接的等离子体辉光区和加热生长区;放卷轴和收卷轴分别位于化学气相沉积炉的两侧,通过放卷轴和收卷轴的转动,以带动金属箔进出化学气相沉积炉并在其上沉积生长石墨烯;其中等离子体辉光区内设有包括平板的支架,平板的上下区域均包括中空区域,金属箔平直通过平板表面并悬空于加热生长区,使金属箔双面生长石墨烯。该装置通过特殊的支架设计,可以在金属箔材基底上一次制备得到双面生长的垂直结构石墨烯,生长温度低,垂直结构石墨烯结构和总厚度可控性高,金属种类和材质适应性广,适用于工业化大规模生产。
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