发明公开
- 专利标题: 超声键合制备倒装焊盘的方法
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申请号: CN201910997953.2申请日: 2019-10-21
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公开(公告)号: CN112768361A公开(公告)日: 2021-05-07
- 发明人: 詹创发
- 申请人: 湖北方晶电子科技有限责任公司
- 申请人地址: 湖北省宜昌市秭归县茅坪镇建东大道197号
- 专利权人: 湖北方晶电子科技有限责任公司
- 当前专利权人: 湖北方晶电子科技有限责任公司
- 当前专利权人地址: 湖北省宜昌市秭归县茅坪镇建东大道197号
- 代理机构: 东莞市中正知识产权事务所
- 代理商 侯来旺
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48
摘要:
本发明公开了一种超声键合制备倒装焊盘的方法,包括超声键合机、塑封机和研磨机,包括以下步骤:步骤A、在半导体衬底上形成导电层;步骤B、使用超声键合机将钢球焊接固定在导电层上;步骤C、使用塑封机在半导体衬底上填充绝缘树脂层,且绝缘树脂层并将钢球包裹;步骤D、使用研磨机对步骤C中的绝缘树脂层进行研磨,研磨至将钢球的顶部露出绝缘树脂层并使钢球的顶部磨平;步骤E、在钢球的被磨平顶面喷淋易焊金属保护层。本发明的方法操作便捷,有利于降低环境污染,环保性能好,有利于降低制作成本,同时制作的成品质量稳定可靠,并且也大大提高了加工的效率,适用性强。
IPC分类: