本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路。包括用于触发准分子激光器的装置和用于驱动准分子激光器的脉冲电路；用于触发准分子激光器的装置包括信号采集模块和电信号处理模块；用于驱动准分子激光器的脉冲电路包括触发脉冲电路，触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源。因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步。因此，本发明在晶体管和第十电容的相互配合作用下，能够产生快前沿低抖动的高压脉冲信号给准分子激光器，以保证准分子激光器的工作性能。