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公开(公告)号：CN113572460A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110689806.6
申请日：2021-06-22
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H03K17/0424
摘要： 本发明公开了一种用于准分子激光器的低抖动精确延时同步触发系统，采用FPGA计数器延时与可编程延时芯片细延时相结合的延时方式，利用时间间隔测量芯片对外部触发信号与FPGA主时钟时间间隔进行测量并通过细延时进行抖动补偿，同时利用另一片时间间隔测量芯片对实际延时时间进行测量，即外部触发信号与输出的精确延时触发信号之间的时间间隔进行测量，与设定延时时间进行比较，通过FPGA调整延时时间，实现延时时间的闭环控制。
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公开(公告)号：CN112857742A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202011617806.7
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本发明涉及准分子激光技术领域，具体是涉及一种获取准分子激光器放电等离子体参数的装置及方法。该装置包括沿光路方向依次设置的激光器、扩束组件、第二凸透镜和光干涉仪；激光器，用于产生平行光束；扩束组件，用于扩大激光器产生的平行光束的直径，扩大直径的平行光束用于进入工作状态下的待测气体激光器产生的等离子体区域内；第二凸透镜，用于将从等离子体区域内输出的平行光束生成同心光束；光干涉仪，用于使同心光束发生干涉而生成相干光。本发明获取的是准分子激光器在工作状态下的等离子体的密度，获取准分子激光器工作状态下不同时刻等离子体的密度，能够表征准分子激光器工作中放电腔内的流场的状态。
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公开(公告)号：CN104577683A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510015162.7
申请日：2015-01-12
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H01S3/08
摘要： 本发明公开了一种空芯光子晶体光纤气体激光器的谐振腔，包括微波源，微波源通过输出耦合波导连接有微波谐振腔，微波谐振腔内输出耦合结构中放置有空芯光子晶体光纤，空芯光子晶体光纤的两端均穿出输出耦合结构，空芯光子晶体光纤一端或两端分别熔接光纤布拉格光栅。本发明可以不用外加光栅元件就可以实现空芯光子晶体光纤气体激光器的窄线宽输出，采用布拉格光纤光栅作为激光谐振腔，体积小，谐振腔调节容易，激光运行稳定。
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公开(公告)号：CN112787209B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202011617779.3
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H01S3/097
摘要： 本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路。包括用于触发准分子激光器的装置和用于驱动准分子激光器的脉冲电路；用于触发准分子激光器的装置包括信号采集模块和电信号处理模块；用于驱动准分子激光器的脉冲电路包括触发脉冲电路，触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源。因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步。因此，本发明在晶体管和第十电容的相互配合作用下，能够产生快前沿低抖动的高压脉冲信号给准分子激光器，以保证准分子激光器的工作性能。
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公开(公告)号：CN112821181A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202011617821.1
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H01S3/097 , H01S3/0975
摘要： 本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路。该脉冲电路包括触发脉冲电路，所述触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；所述第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源，用于驱动充电之后的第十电容放电的驱动组件；所述第十电容放电用于给气体激光器的触发端供电。本发明无需其它辅助部件的支撑只通过本发明的第一供电单元的自身属性就可以实现第十电容充放电的切换，只通过控制晶体管栅极上接入的电压即可切换第十电容充放电，使得栅极上的电压高低与第十电容充放电状态同步，从而更进一步使得本发明通过第十电容和第二变压器产生的高电压脉冲具有快前沿和低抖动。
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公开(公告)号：CN112857742B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202011617806.7
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G01M11/00
摘要： 本发明涉及准分子激光技术领域，具体是涉及一种获取准分子激光器放电等离子体参数的装置及方法。该装置包括沿光路方向依次设置的激光器、扩束组件、第二凸透镜和光干涉仪；激光器，用于产生平行光束；扩束组件，用于扩大激光器产生的平行光束的直径，扩大直径的平行光束用于进入工作状态下的待测气体激光器产生的等离子体区域内；第二凸透镜，用于将从等离子体区域内输出的平行光束生成同心光束；光干涉仪，用于使同心光束发生干涉而生成相干光。本发明获取的是准分子激光器在工作状态下的等离子体的密度，获取准分子激光器工作状态下不同时刻等离子体的密度，能够表征准分子激光器工作中放电腔内的流场的状态。
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公开(公告)号：CN106681093B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201611137768.9
申请日：2016-12-12
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： G03B21/20
摘要： 本发明公开了一种紫外激光投影镜头，属于光学镜头技术领域。所述紫外激光为波长为200nm~400nm的准分子激光，紫外激光投影镜头包括光学结构和机械结构两部分，光学结构包括沿入射光线传输方向依次设置的第一透镜，第二透镜，第三透镜，其中第一透镜为双凸型柱面正透镜，第二透镜为凹凸型柱面负透镜，第三透镜为双凸型柱面正透镜；机械结构包括沿入射光线传输方向依次设置的固定架，第一调节组件，第二调节组件，第三调节组件。本发明的镜头结构简单，易于装调，生产成本低，便于拆装和维护，可应用于平板显示低温多晶硅制备的光束整形系统中。
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公开(公告)号：CN107069421B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201710112381.6
申请日：2017-02-28
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种用于高重复率准分子激光的无二次放电高效激励电路，包括具有两组原边绕组和一组副边绕组的脉冲变压器，脉冲变压器两个原边绕组分别通过正向充电电路和反向充电电路与储能电容连接，脉冲变压器的副边绕组两端的导线之间连接有多组高压陶瓷电容，相邻高压陶瓷电容相同方向一端之间连接有磁脉冲压缩开关，仅最后一组高压陶瓷电容上并联有残余能量吸收电路。本发明设计了一种可用于高重复率准分子激光的无二次放电高效激励电路，可广泛应用于高压放电激励的激光器。
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公开(公告)号：CN112864786B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011611089.7
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器的装置。该装置包括如下组成部分：信号采集模块，用于采集向气体激光器发送种子光的光束激光器的触发信号；电信号处理模块，用于接收和处理信号采集模块采集的光束激光器的触发信号，并将处理之后的触发信号输入至气体激光器的使能端，以使种子光到达气体激光器的时间与气体激光器放电时间同步；所述气体激光器的放电时间受气体激光器的使能端控制。因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步，以此使得准分子激光器可以作为激光放大器使用。
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公开(公告)号：CN112821181B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011617821.1
申请日：2020-12-30
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC分类号： H01S3/097 , H01S3/0975
摘要： 本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于驱动准分子激光器的脉冲电路。该脉冲电路包括触发脉冲电路，所述触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元；所述第一供电单元包括第十电容，用于给第十电容充电的充电电源，用于驱动充电之后的第十电容放电的驱动组件；所述第十电容放电用于给气体激光器的触发端供电。本发明无需其它辅助部件的支撑只通过本发明的第一供电单元的自身属性就可以实现第十电容充放电的切换，只通过控制晶体管栅极上接入的电压即可切换第十电容充放电，使得栅极上的电压高低与第十电容充放电状态同步，从而更进一步使得本发明通过第十电容和第二变压器产生的高电压脉冲具有快前沿和低抖动。
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