发明授权
- 专利标题: 摄像装置、激光加工装置和摄像方法
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申请号: CN201980065074.4申请日: 2019-10-02
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公开(公告)号: CN112789135B公开(公告)日: 2023-04-04
- 发明人: 坂本刚志 , 铃木康孝 , 佐野育
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2018-189029 20181004 JP
- 国际申请: PCT/JP2019/039014 2019.10.02
- 国际公布: WO2020/071459 JA 2020.04.09
- 进入国家日期: 2021-04-01
- 主分类号: B23K26/00
- IPC分类号: B23K26/00 ; B23K26/02 ; B23K26/53 ; H01L21/301
摘要:
本发明提供一种摄像装置,用于拍摄通过照射激光而形成于对象物(11)的改性区域(12)和/或从所述改性区域延伸的裂纹(14),其包括:利用透射所述对象物的光来拍摄所述对象物的第1摄像单元(4);和控制所述第1摄像单元的第1控制部,所述第1控制部,在切换沿着第1线(15a)形成所述改性区域与沿着交叉于所述第1线的第2线(15b)形成所述改性区域的时机,执行控制所述第1摄像单元的摄像处理,来拍摄沿着所述第1线形成的所述改性区域和/或包含从该改性区域延伸的所述裂纹的区域。
公开/授权文献
- CN112789135A 摄像装置、激光加工装置和摄像方法 公开/授权日:2021-05-11