一种钼钠合金板状靶材的制备方法
摘要:
本发明公开了一种钼钠合金板状靶材的制备方法,包括:先将钼酸钠和粘结剂用去离子水溶解混合均匀后,再加入钼粉,并经喷雾造粒后得到钼钠合金粉末,最后对钼钠合金粉末进行脱碳处理;对步骤1得到的钼钠合金粉末进行低压预压制,得到初始压坯;将初始压坯置于石墨模具中,然后将石墨模具置于SPS烧结炉中加压,并进行抽真空;最后对SPS烧结炉进行增加电流升温烧结、卸压、冷却,得到钼钠合金坯料;将钼钠合金坯料进行机加工、打磨抛光得到钼钠合金板状靶材成品。通过SPS技术实现了升温/降温速率快、烧结时间短、节能环保,工艺简单,成本低,实现了钼钠合金板状靶材的短生产周期制备。
公开/授权文献
0/0