发明公开
- 专利标题: 一种钼钠合金板状靶材的制备方法
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申请号: CN202011637456.0申请日: 2020-12-31
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公开(公告)号: CN112813397A公开(公告)日: 2021-05-18
- 发明人: 王娜 , 朱琦 , 席莎 , 安耿 , 武洲 , 吴吉娜 , 张晓 , 周莎 , 张俊利
- 申请人: 金堆城钼业股份有限公司
- 申请人地址: 陕西省西安市高新区锦业一路88号
- 专利权人: 金堆城钼业股份有限公司
- 当前专利权人: 金堆城钼业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市高新区锦业一路88号
- 代理机构: 西安弘理专利事务所
- 代理商 王敏强
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C22C27/04 ; C22C1/04 ; B22F3/105 ; B22F3/04
摘要:
本发明公开了一种钼钠合金板状靶材的制备方法,包括:先将钼酸钠和粘结剂用去离子水溶解混合均匀后,再加入钼粉,并经喷雾造粒后得到钼钠合金粉末,最后对钼钠合金粉末进行脱碳处理;对步骤1得到的钼钠合金粉末进行低压预压制,得到初始压坯;将初始压坯置于石墨模具中,然后将石墨模具置于SPS烧结炉中加压,并进行抽真空;最后对SPS烧结炉进行增加电流升温烧结、卸压、冷却,得到钼钠合金坯料;将钼钠合金坯料进行机加工、打磨抛光得到钼钠合金板状靶材成品。通过SPS技术实现了升温/降温速率快、烧结时间短、节能环保,工艺简单,成本低,实现了钼钠合金板状靶材的短生产周期制备。
公开/授权文献
- CN112813397B 一种钼钠合金板状靶材的制备方法 公开/授权日:2023-06-30