一种VCSEL激光器件及其制作方法
摘要:
一种VCSEL激光器件及其制备方法,该激光器件包括基板,还包括上、下表面均为自由曲面的折射式光学中空透镜,其底部直接粘固于基板上。本发明的制备方法采用预制成阵列的光学透镜,将其直接固置于基板上,再将其切割成单个独立功能的单个VCSEL激光器件。不同于现有技术用事先预切割的带有支撑台的基板,将工程扩束器固定在支撑台上,后分离成单个器件,其产品成本昂贵,出光效率较低,而本发明中透镜除了光学作用外还与基板直接粘接保护芯片和导线等,使用这种折射式的光学透镜的VCSEL器件,透光效率高,生产工艺简单,极大提高了生产效率,有效减少了器件封装体积,也降低了封装成本,提升了产品出光效率和器件质量。
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