一种高纯度低气体含量镍铂合金的制备方法
摘要:
本发明公开了属于高纯镍合金技术领域的一种高纯度低气体含量镍铂合金的制备方法。所述方法采用纯度≥99.99%的铂粉和纯度≥99.9995%的高纯镍制备,先对铂粉在高温高压下压制成高纯铂块,对高纯镍首先经过第一次熔炼并凝固除气,再将高纯铂块加入高纯镍中进行第二次熔炼得到镍铂合金。通过本方法得到的镍铂合金成分分布均匀,具有较高纯度和较低的气体含量。本发明制备的高纯度低气体含量的镍铂合金,能满足高端微电子用大尺寸高纯镍铂合金靶材的性能要求。
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