一种靶材与背板的高性能焊接方法

    公开(公告)号:CN113084289B

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN202110290361.4

    申请日:2021-03-18

    IPC分类号: B23K1/008 B23K1/20

    摘要: 本发明公开了一种靶材与背板的高性能焊接方法,通过真空焊接技术,设计合理的焊接面排气花纹,克服常规焊接方法无法排除焊接面气体及焊料氧化膜混入的问题,对于高温焊接具有较大的优势,避免了高温焊接过程中焊料的氧化,同时,背板及靶材也得到保护,避免高温操作风险,操作简单,焊合率达到99%以上,局部最大未焊合率≤0.5%;本发明的焊接方法,克服了常规钎焊焊接方法焊接变形大问题,降低了靶材的焊接应力,焊接后靶材平面度≤0.5mm,通过后续调平技术,可保证靶材成品的厚度均匀性,提高靶材的性能;本发明的焊接方法,一炉可同时加工多块靶材,提高了生产效率,消除了焊接过程中人为因素的影响,可实现靶材焊接的批量化生产,稳定一致性高。

    一种铂镍合金超细丝材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN111020274A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911326938.1

    申请日:2019-12-20

    摘要: 本发明公开了属于有色金属合金加工技术领域的一种铂镍合金超细丝材及其制备方法和应用。所述超细丝材Ni含量为5wt.%~15wt.%,余量为Pt,直径为 抗拉强度为1200~1500MPa,延伸率为3%~20%。制备方法如下:以铂、镍为原材料,利用真空感应熔炼炉进行熔化、精炼、真空铸造,获得铂镍合金铸锭;利用孔型轧机对铸锭进行轧制开坯,形成铂镍合金棒材;将棒材通过拉丝机拉拔成细丝材,并进行中间热处理;将细丝材进行二次拉拔加工,得到二次拉拔丝材;随后进行连续退火,得到超细丝材。所述铂镍合金超细丝综合性能优良,既有良好的显影效果,又有较高的力学性能,保持塑性的能力强且表面光滑、柔顺性好,可满足PTCA导引导丝显影簧的使用要求。

    一种电子束熔炼用冷床装置及其使用方法

    公开(公告)号:CN118389840B

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410850337.5

    申请日:2024-06-28

    IPC分类号: C22B9/22

    摘要: 本发明公开了一种电子束熔炼用冷床装置及其使用方法;其中冷床装置包括:冷床本体和水路冷却系统,其中冷床本体包括上托和下托,下托固定在上托底面的下方,水路冷却系统设置在下托与上托底面围成的空间中,上托中容纳装料区,装料区的中央为冷却能力弱的化料区,装料区的两侧为冷却能力强的第一激冷区和第二激冷区,化料区的底部装有底锭,激冷区的冷却能力大于化料区的冷却能力。本发明使化料区中的漂浮物受到电子束强大动能向两侧激冷区扩散,直接被冷床激冷区凝壳捕获而去除,无需使用大量精炼时间以及过高的精炼温度使低密度夹杂物溶解或挥发,显著提高冷床除低密度夹杂能力。

    一种镍钒溅射靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN111004985B

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN201911164952.6

    申请日:2019-11-25

    IPC分类号: C22F1/10 C22C19/03 C23C14/34

    摘要: 本发明属于金属材料加工和微电子材料制造技术领域的一种镍钒溅射靶材的制备方法。所述镍钒溅射靶材的制备方法,包括对镍钒铸锭依次进行1)热锻造、2)退火、3)冷变形和4)二次退火。所述镍钒溅射靶材中V的含量为7±0.7%,镍钒铸锭的纯度为99.9%‑99.995%。所得镍钒溅射靶材的晶粒度≤150μm,晶粒细小,分布均匀。本发明所述的镍钒溅射靶材,纯度高,在99.9%以上;组织结构致密无气孔,晶粒细小均匀,晶粒度≤150μm,无磁性,溅镀效率高,可广泛应用于电子元器件、通讯、太阳能光伏光电等行业。

    一种半导体器件用金铍合金材料及制备方法

    公开(公告)号:CN109536770B

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201811471664.0

    申请日:2018-12-04

    IPC分类号: C22C5/02 C22C1/02 C22F1/14

    摘要: 本发明公开了一种半导体器件用金铍合金材料及制备方法,该方法包括如下步骤:1)以金、铍金属为原料,在真空感应熔炼炉上,先将金完全熔化之后,再添加金属铍,熔炼铸造获得金铍合金铸锭;其中,合金铸锭中铍含量为合金名义成分0.5~2wt.%再多配一定比例,余量为金;2)利用加热炉对步骤1获得的合金铸锭进行热处理;3)利用塑性加工设备将铸锭沿厚度方向进行热塑性加工;4)每完成1~2道次加工将坯料于加热炉进行回火热处理;5)重复步骤3)和4),直到所需的板材厚度尺寸;6)采用冲压模具,加工成所需金铍合金材料。通过本方法得到的金铍合金材料成分均匀,合金稳定,形状规则,可满足半导体器件欧姆接触电极的性能要求。

    一种低气体含量电解钴的制备方法

    公开(公告)号:CN108950598B

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201810768334.1

    申请日:2018-07-13

    IPC分类号: C25C1/08

    摘要: 本发明属于电解精炼技术领域,具体涉及一种低气体含量电解钴的制备方法。所述方法包括以下步骤:1)钴氨体系:将质量分数10%~15%的氨水加入氯化钴溶液中发生络合反应,得到钴氨溶液;2)溶液循环:将步骤1)所得溶液通入隔膜电解槽中,单个阴极隔膜区内流速3L/h~4L/h;3)电解:采用脉冲电源电解沉积钴,控制占空比40:1,电沉积钴极板中气体元素氧低于10ppm,碳低于5ppm。本发明能有效防止电沉积过程由于阴极气体含量增大引起极板板面疏松、气孔多、降低电解钴物理质量等不合格问题,大大提高电解钴成品率,且工艺操作简单,便于扩大化规模生产。