本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器的装置。该装置包括如下组成部分：信号采集模块，用于采集向气体激光器发送种子光的光束激光器的触发信号；电信号处理模块，用于接收和处理信号采集模块采集的光束激光器的触发信号，并将处理之后的触发信号输入至气体激光器的使能端，以使种子光到达气体激光器的时间与气体激光器放电时间同步；所述气体激光器的放电时间受气体激光器的使能端控制。因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步，以此使得准分子激光器可以作为激光放大器使用。