一种多场调控忆阻器及其制备方法
摘要:
本发明的一种多场调控忆阻器及其制备方法,多场调控忆阻器,为三层结构的RRAM,包括顶部电极、介电材料、底部电极、基底;顶部电极与底部电极具有不对称性,以金属作顶部电极,以MXene‑ZnO异质结材料作为介电材料,以氧化铟锡作底部电极,以玻璃片或聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷作为基底。本发明用MXene‑ZnO为RRAM单元中的存储介质层材料,以旋涂的方式制备MXene‑ZnO层。通过用ZnO纳米颗粒原位修饰MXene纳米片,合成的异质结材料具有良好的绝缘性能、亲水性能和光学性能。本发明可实现基于电场、光场和湿度场调控电导态,同时具有制作工艺简单、大开关比、高存储密度、高稳定性等性能优点,因此具有良好的应用前景,能广泛应用于生活中多个领域。
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