本发明提供了带流量调节阀的流量检测器，适用于半导体制造装置等洁净环境，可在一体化的装置中，进行有效的流量计测和流量调节。它备有流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2，在该流体流路上配设着流量传感器10的检测部11；输入部件3和输出部件5具有与上述流量检测器本体1内的流体流路2连通的输入输出流路4、6。在输出部件5中设有流量调节阀21。通过密封部件将流路2、4、6接合，在离开上述流路的位置，用螺栓20将流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5固定连接。