带流量调节阀的流量检测器

    公开(公告)号:CN1128988C

    公开(公告)日:2003-11-26

    申请号:CN98123095.4

    申请日:1998-12-11

    发明人: 宫添真司

    IPC分类号: G01F15/18

    摘要: 本发明提供了带流量调节阀的流量检测器,适用于半导体制造装置等洁净环境,可在一体化的装置中,进行有效的流量计测和流量调节。它备有流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2,在该流体流路上配设着流量传感器10的检测部11;输入部件3和输出部件5具有与上述流量检测器本体1内的流体流路2连通的输入输出流路4、6。在输出部件5中设有流量调节阀21。通过密封部件将流路2、4、6接合,在离开上述流路的位置,用螺栓20将流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5固定连接。

    带流量调节阀的流量检测器

    公开(公告)号:CN1225446A

    公开(公告)日:1999-08-11

    申请号:CN98123095.4

    申请日:1998-12-11

    发明人: 宫添真司

    IPC分类号: G01F1/56 G05D7/00

    摘要: 本发明提供了带流量调节阀的流量检测器,适用于半导体制造装置等洁净环境,可在一体化的装置中,进行有效的流量计测和流量调节。它备有流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5。流量检测器本体1具有贯通内部的流体流路2,在该流体流路上配设着流量传感器10的检测部11;输入部件3和输出部件5具有与上述流量检测器本体1内的流体流路2连通的输入输出流路4、6。在输出部件5中设有流量调节阀21。通过密封部件将流路2、4、6接合,在离开上述流路的位置,用螺栓20将流量检测器本体1、输入部件3和输出部件5固定连接。

    流体压机器用配管接头
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1208146A

    公开(公告)日:1999-02-17

    申请号:CN98116279.7

    申请日:1998-08-10

    IPC分类号: F16L37/12

    摘要: 一种使单触型接头28可装在电磁切换阀等流体压机器的两个孔A、B上,带有内螺纹的接头30在用于配管的外螺纹部件拧入时也可以使该接头不回转地固定的配管接头。在压力流体切换供给到两个孔A、B的流体压机器上可交换地安装配管连接用单触型接头28及带内螺纹的接头30。单触型接头28及带内螺纹的接头30可与现有技术同样地安装,带内螺纹的接头30将其两个介由连接部件32连接固定成一体,在用于配管的外螺纹部件拧入时,也使该接头不回转。

    液压控制式电磁阀
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1169517A

    公开(公告)日:1998-01-07

    申请号:CN97104585.2

    申请日:1997-04-02

    IPC分类号: F16K11/065 F16K31/11

    摘要: 本发明在汇流管基座的阀设置面上设置分离开来设置主阀和2个液压控制阀的设置面。在汇流管基座内设有供流流路和排流流路和在前端面上开口的输出口,使它们在主阀的设置面上开口,使一端已与液压控制供流流路和液压控制排流流路连通了的液压供流通路与液压控制排流通路的另一端在液压控制阀的设置面上开口,使一端在液压控制阀的设置面上开口的液压控制输出通路的另一端在主阀的设置面上开口。

    串行并行信号转换输入输出装置

    公开(公告)号:CN1159806C

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN00121940.5

    申请日:2000-07-26

    IPC分类号: H01R9/26 H01R13/66 G06F13/10

    摘要: 一种结构简单的串行并行信号转换输入输出装置,通过串行信号对各种机器进行统一控制,或将各传感器的输出信号转换成串行信号,传给控制系统。包括:连接着的多个输入输出块部件(1),通过输入输出连接器(11)对各种机器的控制信号进行输入或对从各种机器的输出信号进行传输;中继块部分(3),具有通过与控制系统连接的串行端子(32),和与块部件1相配合的多极的接续连接器(33),对在与控制系统(7)之间传输的串行信号及在与块部件(1)之间传输的并行信号进行转换的信号转换器(35)。