本申请涉及基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构，具体而言，涉及法珀腔领域。本申请提供的基于MEMS工艺的敞口式石英玻璃微型F‑P腔传感结构包括：第一光纤、第二光纤、插芯和腔体结构，由于该腔体结构设置有底层、第一中间层和第二中间层和顶层，第一中间层和第二中间层相互平行设置在底层的表面，且第一中间层和第二中间层之间具有间隙，顶层设置在第一中间层和第二中间层远离底层的一侧，则该底层、第一中间层和第二中间层和顶层形成了法珀腔，则进入到该腔体结构的光信号在法珀腔内部时，在该腔体内进行多次反射，形成干涉光。