本申请提供一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法，所述方法利用太赫兹光谱仪获取已知微量水分含量的六氟化硫气体样品和待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的吸收光谱数据，通过所述吸收光谱数据获取相应的频域谱图，将待测微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图和已知微量水分含量的六氟化硫气体样品的频域谱图做对比，若两幅频域谱图在各相同频率时的峰值都相同，则判定所述待测微量水分含量的六氟化硫气体样品和所述含有已知微量水分含量的六氟化硫气体样品所含有的微量水分含量相同。本申请提供的一种六氟化硫气体微量水分含量的检测方法检测过程简单，得到结果迅速且具有很高的检测精度。