- 专利标题: 基于微环耦合马赫曾德尔结构的电压测量系统及测量方法
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申请号: CN202110099932.6申请日: 2021-01-25
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公开(公告)号: CN112924741B公开(公告)日: 2022-03-11
- 发明人: 杨庆 , 罗曼丹 , 黄凌宇 , 董富宁 , 廖伟 , 陈柠
- 申请人: 重庆大学
- 申请人地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号
- 专利权人: 重庆大学
- 当前专利权人: 重庆大学
- 当前专利权人地址: 重庆市沙坪坝区沙正街174号
- 代理机构: 北京君泊知识产权代理有限公司
- 代理商 周倩
- 主分类号: G01R19/00
- IPC分类号: G01R19/00 ; G01R15/24
摘要:
本发明公开了一种基于微环耦合马赫曾德尔结构的电压测量系统,包括:自下而上依次键合的硅衬底层、二氧化硅层和顶硅层,顶硅层包括输入波导、Y型分束器、耦合的第一环形波导和第一直波导、耦合的第二环形波导和第二直波导、Y型耦合器和输出波导;以及覆盖在第一环形波导上的电光聚合物薄膜,电光聚合物薄膜的有效折射率在被测电压作用下发生改变时,第一环形波导的有效折射率相应发生改变,使第一直波导和第二直波导的输出光之间产生相位差,实现对被测电压的测量。本发明还公开了一种基于微环耦合马赫曾德尔结构的电压测量系统的测量方法。本发明利用电光聚合物的电光性能和微环马赫曾德尔结构的谐振特性,基于电光效应实现电压实时感知测量。
公开/授权文献
- CN112924741A 基于微环耦合马赫曾德尔结构的电压测量系统及测量方法 公开/授权日:2021-06-08