本发明公开了一种MEMS微镜面扫描与线扫描混合的激光焊缝扫描装置及扫描方法，该装置包含激光投射单元和图像接收单元；所述图像接收单元由间隔一定距离的若干个相机组成；所述激光投射单元包括一组半导体激光器、一字线光束整形聚焦透镜和单轴MEMS微镜；MEMS微镜和半导体激光器由一个外部电路板驱动控制。该装置利用了单轴MEMS微镜静态和振动两种模式，在一套相机和驱动电路配合下实现线激光扫描和结构光面扫描两种功能。该装置结构紧凑小巧可以装在机器人手臂末端。