一种MEMS微镜面扫描与线扫描混合的激光焊缝扫描装置及扫描方法

    公开(公告)号:CN112958958B

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202110171598.0

    申请日:2021-02-08

    IPC分类号: B23K37/00

    摘要: 本发明公开了一种MEMS微镜面扫描与线扫描混合的激光焊缝扫描装置及扫描方法,该装置包含激光投射单元和图像接收单元;所述图像接收单元由间隔一定距离的若干个相机组成;所述激光投射单元包括一组半导体激光器、一字线光束整形聚焦透镜和单轴MEMS微镜;MEMS微镜和半导体激光器由一个外部电路板驱动控制。该装置利用了单轴MEMS微镜静态和振动两种模式,在一套相机和驱动电路配合下实现线激光扫描和结构光面扫描两种功能。该装置结构紧凑小巧可以装在机器人手臂末端。

    一种压电驱动的真空密封微镜

    公开(公告)号:CN112965238B

    公开(公告)日:2022-09-30

    申请号:CN202110166995.9

    申请日:2021-02-05

    IPC分类号: G02B26/08

    摘要: 本发明公开了一种压电驱动的真空密封微镜,自下而上依次由基板、背腔板、隔离层、结构层以及前腔板连接构成。微镜内部具有真空腔体,结构层中的可动部分位于该真空腔体内;可动部分的振动均发生在真空环境中,不产生结构与空气相互作用的噪声,同时结构内部的微弱振动由于处于真空环境而无法通过空气传导至微镜外。微镜的结构层包括单轴和双轴两种形式,分别对应单轴微镜和双轴微镜。微镜采用压电驱动。本发明微镜采用一体化微纳制造工艺制备,实现了芯片级的真空密封,极大降低乃至消除了噪声,同时芯片体积小,结构紧凑,适用范围大。

    一种基于机器人焊接的视觉定位焊接系统及焊接方法

    公开(公告)号:CN112122840B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202011005596.6

    申请日:2020-09-23

    IPC分类号: B23K37/02 B23K37/00

    摘要: 本发明提供基于机器人焊接的视觉定位焊接系统及焊接方法,由手眼标定模块、拍照点位记录模块、焊接执行模块构成。所述手眼标定模块用于计算相机坐标系与机器人坐标系的位姿转换关系;所述拍照点位记录模块获取交叉钢筋的三维信息,通过钢筋点云焊线提取算法,计算交叉钢筋的焊接路径,并将焊接路径发送至焊接执行模块,焊接执行模块完成钢筋交叉点的焊接作业。通过对交叉钢筋进行视觉定位,克服了工件和夹具精度差的问题,实现了柔性、精准焊接,保证了焊接质量。本发明实现了焊接路径自动计算,免去焊接路径示教,简化机器人示教过程,降低了对操作人员的要求,实现了钢筋焊接的自动化,提升了焊接效果与生产效率。

    一种压电驱动的真空密封微镜

    公开(公告)号:CN112965238A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202110166995.9

    申请日:2021-02-05

    IPC分类号: G02B26/08

    摘要: 本发明公开了一种压电驱动的真空密封微镜,自下而上依次由基板、背腔板、隔离层、结构层以及前腔板连接构成。微镜内部具有真空腔体,结构层中的可动部分位于该真空腔体内;可动部分的振动均发生在真空环境中,不产生结构与空气相互作用的噪声,同时结构内部的微弱振动由于处于真空环境而无法通过空气传导至微镜外。微镜的结构层包括单轴和双轴两种形式,分别对应单轴微镜和双轴微镜。微镜采用压电驱动。本发明微镜采用一体化微纳制造工艺制备,实现了芯片级的真空密封,极大降低乃至消除了噪声,同时芯片体积小,结构紧凑,适用范围大。

    一种基于双光机的光刀光栅混合式三维测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN108362228A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201810142104.4

    申请日:2018-02-11

    IPC分类号: G01B11/25 G01B11/00

    摘要: 本发明提供一种基于双光机的光刀光栅混合式三维测量装置及测量方法,包括双目立体视觉系统,所述双目立体视觉系统由一个左摄像机与右摄像机共同构成;在左摄像机与右摄像机所在轴线的正中心位置放置第一光机和第二光机;其中,第一光机为投影白光的数字投影仪,用于光栅模式测量;第二光机为投影扫描式激光光刀的微振镜激光投影仪,用于生成扫描式激光光刀;其步骤为:1.光栅模式下扫描并得到视差图及视差质量图;2,光刀模式下扫描得到视差图及视差质量图;3根据质量图将两个视差图融合并在双目立体视觉系统下重建躯体轮廓。可以快速实现不同表面特性物体三维轮廓测量。

    一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜

    公开(公告)号:CN111204701B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202010021829.5

    申请日:2020-01-09

    IPC分类号: B81B7/00 B81C1/00 G02B26/08

    摘要: 本发明涉及微纳光学器件领域,具体涉及一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜,包括基座,基座上表面设置有第一绝缘层,第一绝缘层的上表面设置有第一固定层,第一固定层的上表面设置有第二绝缘层,第二绝缘层的上表面设置有反射元件层,反射元件层的上表面设置有第三绝缘层,第三绝缘层的上表面设置有第二固定层,第二固定层的上表面设置有第四绝缘层,第四绝缘层上设置有焊盘。本方案微镜中集成了角度传感器,结构紧凑、功耗低、工艺兼容性高;结构同时具备竖直和平面对称性,驱动可靠易行,检测信噪比高,显著降低了检测信号处理电路的复杂度;可适用于从低频到高频的应用需求。

    一种MEMS微镜面扫描与线扫描混合的激光焊缝扫描装置及扫描方法

    公开(公告)号:CN112958958A

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202110171598.0

    申请日:2021-02-08

    IPC分类号: B23K37/00

    摘要: 本发明公开了一种MEMS微镜面扫描与线扫描混合的激光焊缝扫描装置及扫描方法,该装置包含激光投射单元和图像接收单元;所述图像接收单元由间隔一定距离的若干个相机组成;所述激光投射单元包括一组半导体激光器、一字线光束整形聚焦透镜和单轴MEMS微镜;MEMS微镜和半导体激光器由一个外部电路板驱动控制。该装置利用了单轴MEMS微镜静态和振动两种模式,在一套相机和驱动电路配合下实现线激光扫描和结构光面扫描两种功能。该装置结构紧凑小巧可以装在机器人手臂末端。

    一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜

    公开(公告)号:CN111204701A

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN202010021829.5

    申请日:2020-01-09

    IPC分类号: B81B7/00 B81C1/00 G02B26/08

    摘要: 本发明涉及微纳光学器件领域,具体涉及一种具备完全对称式差分电容角度反馈的微镜,包括基座,基座上表面设置有第一绝缘层,第一绝缘层的上表面设置有第一固定层,第一固定层的上表面设置有第二绝缘层,第二绝缘层的上表面设置有反射元件层,反射元件层的上表面设置有第三绝缘层,第三绝缘层的上表面设置有第二固定层,第二固定层的上表面设置有第四绝缘层,第四绝缘层上设置有焊盘。本方案微镜中集成了角度传感器,结构紧凑、功耗低、工艺兼容性高;结构同时具备竖直和平面对称性,驱动可靠易行,检测信噪比高,显著降低了检测信号处理电路的复杂度;可适用于从低频到高频的应用需求。

    一种基于机器人焊接的视觉定位焊接系统及焊接方法

    公开(公告)号:CN112122840A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011005596.6

    申请日:2020-09-23

    IPC分类号: B23K37/02 B23K37/00

    摘要: 本发明提供基于机器人焊接的视觉定位焊接系统及焊接方法,由手眼标定模块、拍照点位记录模块、焊接执行模块构成。所述手眼标定模块用于计算相机坐标系与机器人坐标系的位姿转换关系;所述拍照点位记录模块获取交叉钢筋的三维信息,通过钢筋点云焊线提取算法,计算交叉钢筋的焊接路径,并将焊接路径发送至焊接执行模块,焊接执行模块完成钢筋交叉点的焊接作业。通过对交叉钢筋进行视觉定位,克服了工件和夹具精度差的问题,实现了柔性、精准焊接,保证了焊接质量。本发明实现了焊接路径自动计算,免去焊接路径示教,简化机器人示教过程,降低了对操作人员的要求,实现了钢筋焊接的自动化,提升了焊接效果与生产效率。