一种耐湿热电容器用金属化薄膜，当卷绕成0.47μF的电容器芯子后，2hr时测定压缩强度在0‑0.25MPa范围内。该金属化薄膜具有经过成分调控的保护层，保护层中包含硅、氧、或碳元素中的一种或多种，其中氧元素的相对原子百分含量大于20％，保护层中的76SiO3‑基团数量与75SiO2CH3‑基团数量的比值(TOF‑SMIS谱)≥0.02，硅元素的面密度在0.02‑0.25μg/cm2之间。该金属化薄膜制成的电容器具有良好的耐湿热性能。