本发明一种晶圆级测试探针卡及晶圆级测试探针卡装配方法属于探针卡、晶圆测试技术领域；该晶圆级测试探针卡包括PCB板、信号转接板和探针，还包括中介板组、导引板组和间隔件组；所述中介板组包括顶部中介板、底部中介板及低功耗中介板，所述探针包括电源探针、接地探针、低频信号探针和高频信号探针四种，分别与信号转接板和中介板组连接；该晶圆级测试探针卡装配方法以此执行以下步骤：对齐装针孔、置针、探针限位和连接PCB；本发明通过探针分组为信号去耦、抗干扰、降噪等处理电路提供足够的容纳空间，可隔离或降低不同信号探针之间的耦合和干扰，提升系统的整体测试性能，特别地，可提升系统高频测试能力。