发明公开
- 专利标题: 一种掩膜板的张网方法
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申请号: CN202110288740.X申请日: 2021-03-18
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公开(公告)号: CN113061841A公开(公告)日: 2021-07-02
- 发明人: 马超 , 黄世花 , 张文畅 , 李烁辉 , 杜志林 , 易烁文 , 韩帅
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 成都京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,成都京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 刘源
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/24
摘要:
本发明公开了一种掩膜板的张网方法,包括:获取掩膜板框架所含各边框的边界参数;根据各边框的边界参数确定坐标原点,并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数,确定与两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴,与X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴,以建立掩膜板框架的坐标系;调节掩膜板框架与张网设备的相对位置,直至掩膜板框架的坐标系与张网设备的坐标系重合,实现掩膜板框架与张网设备之间的对位;在张网设备的坐标系下,采用张网设备将掩膜板固定在掩膜板框架上。
公开/授权文献
- CN113061841B 一种掩膜板的张网方法 公开/授权日:2022-08-19
IPC分类: