一种掩膜板的张网方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113061841B

    公开(公告)日:2022-08-19

    申请号:CN202110288740.X

    申请日:2021-03-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板的张网方法,包括:获取掩膜板框架所含各边框的边界参数;根据各边框的边界参数确定坐标原点,并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数,确定与两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴,与X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴,以建立掩膜板框架的坐标系;调节掩膜板框架与张网设备的相对位置,直至掩膜板框架的坐标系与张网设备的坐标系重合,实现掩膜板框架与张网设备之间的对位;在张网设备的坐标系下,采用张网设备将掩膜板固定在掩膜板框架上。

    一种掩膜板的张网方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113061841A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110288740.X

    申请日:2021-03-18

    IPC分类号: C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种掩膜板的张网方法,包括:获取掩膜板框架所含各边框的边界参数;根据各边框的边界参数确定坐标原点,并根据被张网设备施加对抗力的两个边框的边界参数,确定与两个边框的中垂线夹角最小的方向为X坐标轴,与X坐标轴垂直的方向为Y坐标轴,以建立掩膜板框架的坐标系;调节掩膜板框架与张网设备的相对位置,直至掩膜板框架的坐标系与张网设备的坐标系重合,实现掩膜板框架与张网设备之间的对位;在张网设备的坐标系下,采用张网设备将掩膜板固定在掩膜板框架上。