Invention Publication
- Patent Title: 一种镁纳米线薄膜及其制备方法和应用
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Application No.: CN202110308343.4Application Date: 2021-03-23
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Publication No.: CN113061860APublication Date: 2021-07-02
- Inventor: 梁慧
- Applicant: 徐州工程学院
- Applicant Address: 江苏省徐州市云龙区丽水路2号
- Assignee: 徐州工程学院
- Current Assignee: 徐州工程学院
- Current Assignee Address: 江苏省徐州市云龙区丽水路2号
- Agency: 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司
- Agent 戴嵩玮
- Main IPC: C23C14/35
- IPC: C23C14/35 ; C23C14/18 ; C23C14/16 ; B82Y40/00 ; B82Y30/00 ; H01M8/04082
Abstract:
本发明涉及金属薄膜技术领域，提供了一种镁纳米线薄膜的制备方法，本发明通过控制基底的倾斜角度和基底温度来控制纳米Mg薄膜的形貌。其中，当磁控溅射基底的倾斜角度为60°
Public/Granted literature
- CN113061860B 一种镁纳米线薄膜及其制备方法和应用 Public/Granted day:2022-04-15
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IPC分类:
