发明授权
- 专利标题： 一种镁纳米线薄膜及其制备方法和应用
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申请号： CN202110308343.4申请日： 2021-03-23
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公开(公告)号： CN113061860B公开(公告)日： 2022-04-15
- 发明人: 梁慧
- 申请人： 徐州工程学院
- 申请人地址： 江苏省徐州市云龙区丽水路2号
- 专利权人： 徐州工程学院
- 当前专利权人： 徐州工程学院
- 当前专利权人地址： 江苏省徐州市云龙区丽水路2号
- 代理机构： 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司
- 代理商 戴嵩玮
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/18 ; C23C14/16 ; B82Y40/00 ; B82Y30/00 ; H01M8/04082
摘要：
本发明涉及金属薄膜技术领域，提供了一种镁纳米线薄膜的制备方法，本发明通过控制基底的倾斜角度和基底温度来控制纳米Mg薄膜的形貌。其中，当磁控溅射基底的倾斜角度为60°
公开/授权文献
- CN113061860A 一种镁纳米线薄膜及其制备方法和应用 公开/授权日：2021-07-02
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