本发明公开了一种快速暂态过电压信号的分析方法及系统，所述方法包括以下步骤：基于考虑开关电容效应的电弧模型，仿真计算获得隔离开关动作下GIS内的电弧产生的VFTO信号；其中，所述考虑开关电容效应的电弧模型为分段电弧模型，包括：预击穿阶段模型、燃弧阶段模型和熄弧阶段模型；所述预击穿阶段模型采用与指数时变电弧模型相同的指数模型，所述燃弧阶段模型采用Cassie电弧模型，所述熄弧阶段模型采用Mayr电弧模型。本发明基于考虑开关电容效应的电弧模型进行仿真计算，能够获得隔离开关动作下的VFTO信号。