发明公开
- 专利标题: 一种激光器光束质量单点测量方法
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申请号: CN202110625100.3申请日: 2021-06-04
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公开(公告)号: CN113155279A公开(公告)日: 2021-07-23
- 发明人: 王菲 , 黄一芮 , 刘长青 , 张承双 , 包艳玲 , 李玉瑶 , 张书伟 , 苏忠民
- 申请人: 长春理工大学
- 申请人地址: 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号
- 专利权人: 长春理工大学
- 当前专利权人: 长春理工大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号
- 代理机构: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司
- 代理商 张伟
- 优先权: 2020111907253 20201030 CN
- 主分类号: G01J1/00
- IPC分类号: G01J1/00
摘要:
本发明公开了一种激光器光束质量单点测量方法,通过对四波横向剪切干涉图进行变换获取x/y向差分相位和光强信息,采用差分zernike算法重构待测相位信息,根据相位信息和光强信息重构复振幅,分别采取角谱算法、二阶矩法获取不同轴向位置的复振幅和光斑尺寸ω(z),进而拟合出激光传输曲线方程,从而获得激光束的远场发散角θ0、束腰光斑尺寸ω0和光束质量因子M2。该测量方法能够实现对激光光束质量的实时监测,还能够适用于脉冲激光束光束质量的测量,具有测量方法简单及测量效率高等优点。