本发明提供一种针对不同倾角入射的单粒子瞬态电流源建模方法，解决传统电流源建模方法在推广到倾角入射情形时参数提取复杂、注入电荷总量估计不准确的问题。该方法综合考虑了入射位置、入射角度和有源区形状大小，能够更加合理准确的研究电路的单粒子效应并且预测其抗辐照能力。其包括：步骤一、获取待研究器件的版图；步骤二、确定离子在材料中的线性能量传输值，设定需要评估的离子在版图上的入射位置和入射方位角；步骤三、提取版图中的敏感节点轮廓，记录其在版图上的坐标；步骤四、获取不同倾角入射情况下的单粒子瞬态电流；步骤五、调用计算得到的单粒子瞬态电流，执行电路级仿真计算得到敏感节点的电压波形，并分析辐射效应结果。